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基于AI視覺的晶圓檢測/貼裝方案

方案簡介

Solution brief

基于AI視覺的晶圓檢測/貼裝方案可實(shí)現(xiàn)檢測晶圓外觀缺陷和尺寸，并將良品按一定的角度、位置、間距和方向貼裝到PVC盤，輸出內(nèi)含位置、角度等信息的eMap文件，以供下游廠家生產(chǎn)使用。晶圓是尺寸為0.9*0.81mm的銅片，需要檢測正反兩面。因晶圓尺寸小，CT要求高，所以采用貼片機(jī)配合光學(xué)檢測完成。

方案功能

Solution function

基于TimesAI深度學(xué)習(xí)開發(fā)平臺的模型庫，實(shí)現(xiàn)了微小無序元件的外觀檢測，并完成高速、高精度擺盤/貼裝。

方案亮點(diǎn)

Bright spot

1、采用深度學(xué)習(xí)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品外觀檢測，更加智能準(zhǔn)確；
2、貼片機(jī)實(shí)現(xiàn)高精度高速貼裝，提供設(shè)備產(chǎn)能；
3、反面檢測實(shí)現(xiàn)高速飛拍，最大可能降低CT；
4、振動盤上料，減少人工參與，節(jié)省成本；
5、自動生成eMap文件，標(biāo)識產(chǎn)品坐標(biāo)、檢測結(jié)果、角度等數(shù)據(jù)，為下游廠家提供自動化依據(jù)。

應(yīng)用場景

Application scenario

工業(yè)案例

Project case

  • 晶圓檢測實(shí)施現(xiàn)場

  • 晶圓檢測實(shí)施現(xiàn)場

  • 晶圓檢測實(shí)施現(xiàn)場